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中科院强激光材料重点实验室*

仪器设备与工作环境

更新时间:2020-07-03 【打印】 【关闭

shiyanshimuqiandeyiqishebeiyijibenmanzuqiangjiguangyuwuzhixianghuzuoyong、jiguangsunshangheqiangjiguangcailiao(baokuoboli、jingti、bomo)deyanjiu,youlidezhichengkeyangongzuo,zhuyaoyou:

1.   cailiaozhibei:

danjinglu,chuzhixingjingqueguanzhuanglu,jingmituihuolu、hengwen-dishibolironglu、gaozhenkongcikongjianshexitong、veeco spectorquanzidongshuanglizishujiansheguangxuedumoji、leybolddianzishuzhengfadumoji,yijiguochandezhenkongshizhijing450mm~1.8mzhenkongdumoji、banlianxuronglianxitong(zizhi)deng。

2.   cailiaoxingnengceshi:

gao/dizhenkongsaomiaodianjing、kehehunheqitilizijiguangqi、xianxingdingweipingtaixitong、xynamidingweixitong、lambda-1050ziwai/kejian/jinhongwaifenguangguangduji、nkd-7000guangxuechangshuceliangyi、rs0/200-xpjiguangpingmiangansheyi、hongwaiguangpuyi、jiguangsunhaoceliangyi、zongherefenxiyi、gaowenzhanduji、gaowenrepengzhangyi、bolitiaowenjianchayi、shuangzheshepianguangyi、yingguangshoumingceshiyi、yingguangguangpuyi、vlengjingzheshelvyi。zixingyanzhijianlilecailiaojiguangsunshangceshi、xiaoguangbansaomiaojiguangyuchuli、gaolingminduguangrexiaoyingruoxishouceliang、zongjifensansheceliangdengyixiliezaiguoneiwaidujutesedeqiangjiguangcailiaozhuanyongxingnengjiancexitong,bingqiezhenduiqiangjiguangzhuangzhiyingyong,zhengzaijianshejiguangbomoyucailiaoxingnengdezonghejiancepingtai。

3.   cailiaochengfenjiegoufenxi:

ICP等离子发光光谱仪、SEM、AFM、拉曼光谱仪等材料成份和结构测试仪器。 

实验室主要仪器设备

VEECO镀膜机 

设备名称

VEECO镀膜机

用途说明

该镀膜机的引进将加快对超低损耗薄膜、高损伤阈值薄膜、紫外薄膜及光资讯薄膜等领域的研究进程。

联系电话

69918468

管理人员

易葵

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干涉仪

设备名称

干涉仪

用途说明

用于精密测量光学平面度,对于干涉条纹可目视、测量读数、照相留存记录。

联系电话

69918462

管理人员

邵淑英

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弱吸收测量仪

设备名称

弱吸收测量仪

用途说明

用于测量光学材料的弱光吸收系数及测量光学薄膜微弱吸收的实验装置

联系电话

69918643

管理人员

晋云霞

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Leybold 1100 高真空镀膜机

设备名称

Leybold 1100 高真空镀膜机

用途说明

可以进行各类高性能薄膜制备

购入时间

2008

性能指标

极限真空: 5.0×10-5Pa,烘烤温度:300度;

两把电子枪(一把对应于环形坩埚,另一把对应于8穴位坩埚),可以进行Ta2O5TiO2, HfO2 SiO2 MgF2等氧化物及氟化物材料沉积。一个APS离子源,可以进行基片清洗及离子辅助镀膜

联系电话

69918468

管理人员

朱美萍

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原子力显微镜

设备名称

原子力显微镜

用途说明

可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性,如形貌、粘弹性、摩擦力、吸附力和磁/电场分布等等。

购入时间

2008

性能指标

最大成像范围120×120×5μm3;

最高分辨率: 横向0.1nm, 纵向0.01nm;

样品尺寸: 直径<=200mm; 厚度<=12mm

噪声水平:均方根在垂直(Z)方向上小于0.5A

联系电话

69918464

管理人员

肖祁陵

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光学轮廓仪器

设备名称

光学轮廓仪

用途说明

可对表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从亚纳米级粗糙度到毫米级的台阶高度。

购入时间

2008

性能指标

垂直测量范围0.1nm~1nm

垂直分辨率<1ÅRa

RMS重现性0.01nm

反射率范围1%~100%

联系电话

69918464

管理人员

肖祁陵

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tdr(l)-j50axingdanjinglu

shebeimingcheng

tdr(l)-j50axingdanjinglu

xingnengzhibiao

jiaredianyuan

380vac±5%50hz

bianyaqirongliang

30kva

dianjizhongxinju

400mm

lenglujixianzhendu

6.67×102pa

zijingganmansheng

0.1~10mm/h

zijinggankuaisheng

shoudong

zijingganzhuansu

1~50rpm

zijingganluneixingcheng

400mm

ganguoganluneixingcheng

100mm

zhujizhongliang

yue1500kg

lengqueshuiya

0.13~0.18mpa

chongqiyali

~0.08mpa

xiangguanzhaopian

 

ribenshengchanyexiangwaiyanlujap-mtf-2485

shebeimingcheng

ribenshengchanyexiangwaiyanlujap-mtf-2485

xingnengzhibiao

日本Motoyama 公司制造,炉子由控制柜、主炉、退火炉三部分组成。主要可以用于单晶薄膜的生长,如化学计量比LiNbO3单晶薄膜、β-BaB2O4单晶薄膜、Ce:LuAP/Ce:YAP复合膜等的衬底夹具。其主要特点是生长工艺简单,控温精确。主要工艺参数:主炉最高炉温1200℃,退火炉最高温度1000℃,转速30~300rpm,升降杆停止精度±1mm。

xiangguanzhaopian

 

ultimaⅳribenlixuexshexianyansheyi

shebeimingcheng

ultimaⅳribenlixuexshexianyansheyi

zhuyaoyongtu

ultima ivxilieshiyizhonggaoxingnengduogongnengdefenjingxshexianyansheyi,keyifenxidecailiaozhuangtaibaokuo:fenmoyangpin、kuaizhuangyangpin、bomoyangpin、yetiyangpin。

xingnengzhibiao

cejiaoyijingdu0.0001du,3kwgaopinxshexianfashengqi,gaofanshelvdeshimodanseqi。youyuqicaiyongθ-θsaomiaofangshi,yangpinzaiceshiguochengzhongbuxuyaoxuanzhuan,yincikeyiyongyuyetiyangpindeceshi。

xiangguanzhaopian